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喜报:安徽省首台套名单发布,中科光栅榜上有名!
2024-08-27 10:00
近日,安徽省工业和信息化厅对《2024年度第二批安徽省首台套重大技术装备名单的通知》进行了公示,经创新主体申报、市工信主管部门审核推荐、第三方评定机构组织专家会议评审和现场核查、公示等程序,中科光栅研制的“LKF-300大口径全息波导闪耀光栅元件研制系统(反应离子束刻蚀机)”成功入选。
首台套重大技术装备是高端装备的标志性产品,是区域创新能力的体现,也是衡量企业核心竞争力的重要标志之一。此次入选的产品是公司自主研发的专用于衍射光栅、衍射光波导等微纳元件刻蚀的高端装备,离子束扫描刻蚀区域大于200mmx200mm,刻蚀均匀性优于±3%,总体技术达到国内先进水平;未来有望应用于其它光子器件、集成电路等的干法蚀刻工艺。
中科光栅也将以此为契机,继续立足于自身发展优势,进一步加大重大技术装备的研发力度和推广应用,全力突破国外卡脖子技术,致力于实现多方位进口替代,成为推动我省制造业高质量发展的中坚力量。