衍射光栅
其他衍射光学元件
核心技术
公司源于中国科学技术大学国家同步辐射实验室衍射光学元件精密加工实验室,实验室在光栅的研制方面有近四十年的技术积累,多项技术成果突破国际封锁和禁运,实现核心器件的国产化。
公司具备口径达到米级的衍射光栅研制及批量化生产能力,使用波长涉及软X射线至红外波段。主要工艺技术为全息光刻-离子束刻蚀(熔石英基底)和全息光刻-湿法腐蚀(单晶硅基底)。自研大口径工艺设备突破加工光学元器件的口径限制,设备最大加工口径达1.5m。
主营业务
衍射光学元件、工艺服务
技术始于
1984 年
总部地址
安徽省合肥市肥东科创小镇