衍射光栅
其他衍射光学元件
新型透射闪耀光栅
描述：
新型透射闪耀光栅，入射光掠入射到光栅光滑侧壁上，衍射光在侧壁的镜面反射方向实现闪耀，获得较高衍射效率。使用全息光刻与湿法腐蚀技术，在单晶硅中成功制作新型透射闪耀光栅。
3000 lines/mm
1000 lines/mm
500 lines/mm
2000 lines/mm
5000 lines/mm
自支撑金透射光栅
金透射光栅是极紫外和软X射线波段重要的色散元件，具有较宽光谱范围、高衍射效率等优良特性，是激光惯性约束核聚变等离子体诊断和X射线激光研究中最有效的工具之一。
紫外透射闪耀光栅
采用全息-离子束刻蚀技术制作非对称槽形融石英透射光栅，具有大口径、高衍射效率、低衍射波前误差等特点，用于光谱分析、天文观测等领域。
红外透射光栅
浸没式光栅为衍射光栅与棱镜（浸没介质）相结合，与相同面尺寸的非浸没式光栅相比，可将分辨率提高 𝒏 倍（𝒏为介质的折射率），能够在实现高光谱分辨率的同时大幅减小光谱仪器的体积和重量。
衍射光学元件
基于全息光刻-离子束刻蚀工艺的衍射光学元件
