衍射光栅
其他衍射光学元件
平场光栅
描述：
传统的罗兰圆光栅成像面是凹面，不利于现代平面探测器探测。平场光栅通过有规律的改变凹面光栅的线密度，将光谱面校正为一平面，从而耦合平面探测器实现光谱探测。
常规平场光栅
1200线/𝑚𝑚：覆盖波段 5~30 𝑛𝑚
2400线/𝑚𝑚：覆盖波段 0.8~6 𝑛𝑚
并联平场光栅
单块基底制作两块子光栅，扩展使用波段，单块光栅可覆盖 2~25 𝑛𝑚
变间距位移测量光栅
光学传感器利用光信号代替电信号作为传输媒质，相比于电磁传感器，具有抗电磁干扰、雷击等引起的电磁脉冲的优点。基于光栅的位移传感可以实现全光式位移传感，可用于姿态控制系统中的传感系统。
波长编码位移传感
数字编码式位移传感
衍射光学元件
基于全息光刻-离子束刻蚀工艺的衍射光学元件
