近年，各行业对高精尖仪器设备“国产代替”的需求与日俱增。为促进科技进步，鼓励国内企业，财政部、商务部、国家税务总局三部委发布《关于研发机构采购设备增值税政策的公告》（财政部 商务部 税务总局公告2023年第41号，以下简称“公告”），将继续对内资研发机构和外资研发中心采购国产设备全额退还增值税。公告执行至2027年12月31日，具体从内资研发机构和外资研发中心取得退税资格的次月1日起执行。

      主要涉及四大门类：实验环境方面、样品制备设备和装置、实验室专用设备、计算机工作站，中型、大型计算机。此次涉及的设备清单，范围广、门类多，表明国家支持国产设备的决心，力争解决核心技术关键环节“卡脖子”的问题。

公司另一个业务领域遍及半导体器件专用设备、电子专用设备等。多功能反应离子刻蚀机配备高性能条形射频离子源和多维运动工作台，可支持大口径光栅刻蚀（全口径刻蚀均匀性优于5%）。通过优化真空室及工作台设计，解决离子束流均匀性精确控制、离子束流密度扫描探测系统精准测量等技术难题，不仅能实现超过200mmx200mm区域的扫描刻蚀，且能显著提高刻蚀区的均匀性。